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技術(shù)文章(zhāng)
台(tái)式四探針電(diàn)阻率測試(shì)儀 型號(hào):DP-2258C
更新時(shí)間:2017-07-18
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數字式四探針測(cè)試儀/台式(shì)四探針(zhēn)電(diàn)阻率(shuài)測試儀 型(xíng)號(hào):DP-2258C
概述(shù)
DP-2258C型數(shù)字式(shì)四探針測試(shì)儀是運用(yòng)四探針(zhēn)測(cè)量(liáng)原(yuán)理測(cè)試(shì)電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)/方(fāng)阻的多用途綜合(hé)測(cè)量儀(yí)器(qì)。該(gāi)儀器(qì)符合GB/T 1551-2009 《矽單(dān)晶電阻率測(cè)定方(fāng)法》,GB/T 1551-1995《矽,鍺(zhě)單(dān)晶電阻率測定(dìng)直流兩探針法》,GB/T 1552-1995《矽,鍺單晶(jīng)電(diàn)阻(zǔ)率測定(dìng)直流四(sì)探(tàn)針(zhēn)法》並參(cān)考美 A.S.T.M 標(biāo)準。
儀器(qì)成(chéng)套組成:由主機(jī),選配(pèi)的(dí)四探(tàn)針(zhēn)探(tàn)頭(tóu),測試(shì)台等分組成(chéng)。
主機主要(yào)由恒(héng)流(liú)源,分辨(biàn)率(shuài)ADC,嵌入式(shì)單(dān)片(piàn)機(jī)係(xì)統組(zǔ)成。儀(yí)器所有參數設定(dìng),能轉換(huàn)采用(yòng)數(shù)字化鍵盤(pán)輸入(rù);具有零位(wèi),滿度自校能;電壓(yā)電流自(zì)動轉(zhuǎn)換(huàn)量(liáng)程(chéng);測試(shì)結(jié)果(guǒ)由數字表頭(tóu)直(zhí)接顯示。本(běn)測試儀特贈設(shè)測(cè)試(shì)結果(guǒ)分(fēn)類能(néng),zui大分類10類(lèi)。
探(tàn)頭(tóu)選(xuǎn)配(pèi):根據不(bù)同材料特性需(xū)要(yào),探(tàn)頭可(kě)有多(duō)款(kuǎn)選(xuǎn)配。有耐磨(mó)碳(tàn)化鎢探針探頭,以(yǐ)測(cè)試矽類(lèi)半導體,金(jīn)屬(shǔ),導電(diàn)塑(sù)料類等硬質(zhì)材料(liào)的電阻率/方(fāng)阻;也有形鍍(dù)金銅合(hé)金(jīn)探(tàn)針(zhēn)探頭,可測(cè)柔性材料導電(diàn)薄膜,金屬塗層(céng)或(huò)薄(báo)膜(mó),陶瓷或玻璃等(děng)基底上導電(diàn)膜(mó)(ITO膜)或(huò)納(nà)米塗層(céng)等半導體材(cái)料(liào)的電阻率/方阻。換上(shàng)四(sì)端子(zǐ)測試(shì)夾具,還可(kě)對電阻器體(tǐ)電阻,金屬(shǔ)導(dǎo)體(tǐ)的(dí)低(dī),中值電(diàn)阻(zǔ)以及開(kāi)關類接觸電阻(zǔ)行(háng)測量。配(pèi)探頭(tóu),也(yě)可(kě)測試電(diàn)池片等(děng)箔上塗層電阻率方阻。
測試(shì)台選配(pèi):般(bān)四(sì)探針(zhēn)法(fǎ)測試電(diàn)阻(zǔ)率/方(fāng)阻(zǔ)配DP-T-A或DP-T-B或DP-T-C或DP-T-F型(xíng)測試(shì)台。二(èr)探針(zhēn)法(fǎ)測(cè)試(shì)電阻率測試(shì)選(xuǎn)DP-T-K型測試台,也可(kě)選配(pèi)DP-T-D型測試台(tái)以測(cè)試半導體(tǐ)粉(fěn)末電阻率(shuài),選(xuǎn)配(pèi)DP-T-G型測試(shì)台測試(shì)橡(xiàng)塑(sù)材料電阻率(shuài)。詳見《四(sì)探針儀(yí)器,探頭和測試台的特(tè)點與(yǔ)選型參考》
儀器具(jù)有(yǒu)測量(liáng)度,靈敏度,穩定(dìng)性好,化(huà)程度(dù),結(jié)構(gòu)緊湊,使用簡(jiǎn)便(biàn)等特(tè)點。
儀(yí)器(qì)適用於半導體材(cái)料廠器件(jiàn)廠,科(kē)研(yán)單位(wèi),等院校(xiào)對導體,半導體,類(lèi)半導體材(cái)料(liào)的(dí)導電性(xìng)能的(dí)測試。
三,基本(běn)參(cān)數
1. 測量範圍,分(fēn)辨率(shuài)(括(kuò)號(hào)內為(wéi)可(kě)向下(xià)拓展(zhǎn)1個(gè)數量級)
電(diàn) 阻(zǔ):10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω, 分辨率(shuài)1.0×10-6 ~ 0.1×103 Ω
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω)
電(diàn) 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 Ω-cm
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm)
方塊電阻(zǔ):50.0×10-6 ~ 900.0×103 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×103 Ω/□
(5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×103 Ω/□)
2. 材料尺(chǐ)寸(cùn)(由(yóu)選(xuǎn)配測試台和測(cè)試方(fāng)式決定)
直 徑(jìng): DP-T-A圓測(cè)試(shì)台直接(jiē)測(cè)試方式 Φ15~130mm,手持方式(shì)不(bù)限(xiàn)
DP-T-B/C/F方測(cè)試台直接(jiē)測(cè)試(shì)方式(shì)180mm×180mm,手持(chí)方式(shì)不(bù)限.
長(cháng)()度: 測(cè)試台(tái)直(zhí)接(jiē)測試方(fāng)式(shì) H≤100mm, 手持(chí)方式(shì)不限(xiàn).
測量方位(wèi): 軸向,徑向(xiàng)均可(kě)
量(liáng)程劃分及誤(wù)差(chà)等(děng)級(jí)
滿度(dù)顯示(shì) | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 |
常(cháng)規量程 | kΩ-cm/□ | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | --- | ||||
zui大拓(tuò)展(zhǎn)量程 | --- | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | mΩ-cm/□ | ||||
基本誤差(chà) | ±2%FSB ±4LSB | ±1.5%FSB ±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB ±4LSB | ±1.0%FSB ±4LSB | ||||
作電(diàn)源(yuán):220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5.外(wài)形尺寸: 245mm(長)×220 mm(寬)×95mm()
淨 重(zhòng):≤1.5~2.0kg