四(sì)探(tàn)針測(cè)試儀是運用(yòng)四探針測量原理的多用途(tú)綜(zōng)合(hé)測(cè)量(liáng)設(shè)備(bèi)，該儀(yí)器(qì)按(àn)照(zhào)單晶(jīng)矽物(wù)理測試(shì)方(fāng)法(fǎ)家(jiā)標(biāo)準(zhǔn)並參考(kǎo)美(měi) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而(ér)設(shè)計(jì)的，專用於(yú)測(cè)試半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)材料電阻率及方(fāng)塊電(diàn)阻(zǔ)（薄(báo)層(céng)電(diàn)阻(zǔ)）的專用儀(yí)器。

 

　　目(mù)前，四探針測(cè)試(shì)儀(yí)由主機，測試(shì)台(tái)，四探針(zhēn)探(tàn)頭，計(jì)算(suàn)機(jī)等(děng)分(fēn)組(zǔ)成，測(cè)量數據(jù)既可由(yóu)主(zhǔ)機(jī)直(zhí)接(jiē)顯示(shì)，亦可(kě)由計算(suàn)機(jī)控製(zhì)測試(shì)采集(jí)測試(shì)數(shù)據到(dào)計(jì)算機(jī)中加以分(fēn)析，然(rán)後以(yǐ)表格(gé)，圖(tú)形方式統(tǒng)計分(fēn)析顯示(shì)測試結(jié)果。

 

　　本儀(yí)器適用於半導體(tǐ)材(cái)料(liào)廠，半導(dǎo)體器(qì)件(jiàn)廠，科研單(dān)位，等(děng)院(yuàn)校對(duì)半(bàn)導(dǎo)體材(cái)料(liào)的電(diàn)阻性(xìng)能測(cè)試(shì)。

　　四(sì)探針軟件(jiàn)測試係統(tǒng)是(shì)個運行(háng)在計算機上擁有(yǒu)友好(hǎo)測(cè)試(shì)界(jiè)麵的(dí)用戶程序(xù)，通(tōng)過此測試(shì)程(chéng)序(xù)輔助(zhù)使(shǐ)用戶(hù)簡便地行(háng)各(gè)項(xiàng)測(cè)試(shì)及(jí)獲(huò)得測(cè)試數(shù)據並(bìng)對測(cè)試(shì)數據行統計分析。

　　測(cè)試程序(xù)控製(zhì)四(sì)探針(zhēn)測(cè)試儀(yí)行(háng)測量並(bìng)采(cǎi)集測(cè)試(shì)數據，把采集(jí)到(dào)的數(shù)據(jù)在計算(suàn)機中加以分(fēn)析，然後把測(cè)試數據(jù)以(yǐ)表格(gé)，圖(tú)形直(zhí)觀(guān)地記錄(lù)，顯示(shì)出來。用戶可對采集到(dào)的數據(jù)在電腦(nǎo)中保(bǎo)存或者打(dǎ)印以備日後參(cān)考(kǎo)和查看，還可以把采集(jí)到的(dí)數據輸(shū)出到(dào)Excel中，讓用(yòng)戶對(duì)數據行各種數(shù)據(jù)分(fēn)析(xī)。

 

　　四(sì)探針測(cè)試儀(yí)的操(cāo)作(zuò)步驟：

　　1，鬆開筆身尾端(duān)側麵的固定小螺絲，輕輕(qīng)脫下尾航空插口(kǒu)，保證探針(zhēn)頭旋轉時同(tóng)步旋轉(zhuǎn)，防止(zhǐ)扭(niǔ)綫斷(duàn)綫(xiàn)，短接(jiē)；

　　2，輕輕(qīng)擰(níng)開探(tàn)針頭(tóu)子(zǐ)，然(rán)後(hòu)小(xiǎo)心(xīn)將銅(tóng)片拉(lā)出，記住(zhù)七片緣片(piàn)與銅片(piàn)之間的位置，將斷針從銅片卡(qiǎ)口座裏(lǐ)取(qǔ)下(xià)即可(kě)；

　　3，特(tè)別注(zhù)意(yì)定(dìng)不(bù)能(néng)將銅片(piàn)取下(xià)時(shí)的位置錯亂(luàn)，銅片(piàn)位置按照航空頭四芯(xīn)1234接(jiē)綫(xiàn)綠(lǜ)紅黃黑的順序字排列(liè)，並且(qiě)銅片之間(jiān)按(àn)照(zhào)寬窄(zhǎi)順(shùn)序互相交(jiāo)叉排列(liè)，以(yǐ)免短(duǎn)接(jiē)；

　　4，安(ān)裝(zhuāng)時銅(tóng)片及緣片按(àn)照拆下時的排(pái)列輕輕(qīng)塞探(tàn)針頭子(zǐ)，並將探針頭子擰(níng)緊(jǐn)，再將(jiāng)尾(wěi)航(háng)空頭(tóu)插上，並(bìng)且旋緊小螺(luó)絲；

　　5，將針(zhēn)裝好，注意針頭針尾方向，尖頭為探針頭。