數字式(shì)太陽(yáng)能級矽(guī)晶體(tǐ)少(shǎo)子(zǐ)壽(shòu)命測(cè)試儀 型號(hào)：DP-LT-200
1.    儀(yí)器(qì)應(yīng)用範圍(wéi)及(jí)說明
本設(shè)備是按照(zhào)家標準(zhǔn)GB/T1553“矽單晶少數載流子(zǐ)壽命(mìng)測定的頻光電(diàn)導衰減法”。頻光(guāng)電(diàn)導(dǎo)衰(shuāi)減(jiǎn)法在(zài)我(wǒ)半導體(tǐ)集成電路，晶(jīng)體管，整流器件，核探(tàn)器行業已(yǐ)運用(yòng)了三十(shí)多(duō)年，積(jī)累了(liǎo)豐(fēng)富的使用經驗(yàn)，經(jīng)過(guò)數次十多個(gè)單位(wèi)巡回(huí)測(cè)試的考驗，證明(míng)是種(zhǒng)成(chéng)熟可靠(kào)的測(cè)試方(fāng)法(fǎ)，特別(bié)適合於矽(guī)塊，矽(guī)棒(bàng)的少子體(tǐ)壽命(mìng)測(cè)量(liáng)；也可對矽片行測量，給出(chū)相(xiāng)對(duì)壽命(mìng)值(zhí)。方(fāng)法(fǎ)本(běn)身對樣(yàng)品(pǐn)表麵(miàn)的要(yào)求(qiú)為研磨麵，因(yīn)此(cǐ)製樣特(tè)別簡(jiǎn)便。
數(shù)字式矽(guī)晶(jīng)體少子壽命測(cè)試(shì)儀(yí)有以下特點：
可測(cè)量(liáng)太陽能級(jí)多晶(jīng)矽(guī)塊(kuài)，單晶矽(guī)棒(bàng)少(shǎo)數載流子(zǐ)體壽命(mìng)。表麵無需拋光(guāng)，直接對(duì)切割(gē)麵或(huò)研(yán)磨麵(miàn)行(háng)測量，儀(yí)器可(kě)按(àn)需方(fāng)提(tí)供的有標稱值的校準(zhǔn)樣(yàng)品(pǐn)調試壽命(mìng)值(zhí)。
1.1     可測(cè)量(liáng)太(tài)陽(yáng)能級(jí)單(dān)晶(jīng)及多晶矽(guī)片少數載流(liú)子(zǐ)的相對壽命，表(biǎo)麵(miàn)無(wú)需拋光(guāng)，鈍(dùn)化。
1.2     液晶(jīng)屏(píng)上直(zhí)接顯示(shì)少子(zǐ)壽命(mìng)值，同時在綫(xiàn)顯示光電(diàn)導衰退波形。
1.3   配(pèi)置的紅外光(guāng)源：0.904～0.905μm波長紅外脈衝激(jī)光(guāng)器，光穿透(tòu)矽晶體深度較淺≈30μm，但光強(qiáng)較強，有利於測量低(dī)阻太陽(yáng)能級(jí)矽(guī)晶(jīng)體少數(shù)載流子(zǐ)體壽(shòu)命，脈衝(chōng)率(shuài)30W。
1.4     測量(liáng)範圍(wéi)寬廣
測試儀(yí)可直接(jiē)測(cè)量：
a，研磨或切割麵(miàn)：電阻率≥0.5Ω•cm的(dí)單晶矽(guī)棒(bàng)，定向結(jié)晶多晶矽(guī)塊少子體壽命(mìng)，切(qiē)割(gē)片(piàn)的少(shǎo)子(zǐ)相對(duì)壽(shòu)命。
b，拋(pāo)光(guāng)麵(miàn)：電阻(zǔ)率(shuài)在(zài)0.5～0.01Ω•cm範圍(wéi)內(nèi)的矽單(dān)晶，鍺單晶厚(hòu)度(dù)小於1mm的(dí)拋光片(piàn)。
2.    設備要(yào)求及(jí)性(xìng)能標(biāo)
2.1     少子壽(shòu)命(mìng)測(cè)試範圍(wéi)：0.5μs~6000μs            
2.2     樣(yàng)品(pǐn)的電(diàn)阻(zǔ)率範(fàn)圍(wéi)：ρ﹥0.1Ω·cm（非回(huí)爐(lú)料）             
2.3     測(cè)試速度：1分鐘(zhōng)/片(piàn)                     
2.4     紅外(wài)光源波(bō)長： 0.904～0.905μm                  
2.5     頻(pín)振(zhèn)蕩(dàng)源：用石英(yīng)諧振(zhèn)器(qì)，振蕩頻(pín)率(shuài)：30MHZ
2.6     前置放大(dà)器，放大倍數(shù)約25，頻寬2HZ-2MHZ
2.7     可(kě)測單晶尺寸：斷(duàn)麵(miàn)豎測(cè)：
直徑25mm-150mm；厚(hòu)度(dù)2mm-500mm
縱向(xiàng)臥測(cè)：直徑5mm-20mm；長度50mm-200mm
2.8     測量(liáng)方式：采用(yòng)數字(zì)示波(bō)器直接讀數方(fāng)式
2.9     測試(shì)分辨率(shuài)：數(shù)字(zì)存儲示波器(qì)zui小(xiǎo)分辨(biàn)率0.01μs
2.10  設(shè)備重量(liáng)：20 Kg
2.11  儀器(qì)電源：電源電(diàn)壓類型(xíng)：單(dān)相210～230V,50Hz,帶電源隔離(lí)，濾波，穩(wěn)壓，不(bù)能與(yǔ)未(wèi)做(zuò)保(bǎo)護措(cuò)施(shī)的大率，頻設(shè)備(bèi)共用(yòng)電源(yuán)。