匀膠機(jī)旋(xuán)塗(tú)儀/旋塗儀/匀膠(jiāo)機(jī) 型號：DP-100

. 產品應用
DP-100型匀膠機(jī)（Spin Coater）
，是新代旋轉塗(tú)膜設備
，具有(yǒu)速度度(dù)
，主動式速(sù)度調控，匀膠過(guò)程(chéng)多段(duàn)程序(xù)控(kòng)製(zhì)等特點。主(zhǔ)要(yào)用(yòng)於(yú)微(wēi)電(diàn)子(zǐ)，半(bàn)導(dǎo)體，製版，新能源，生物(wù)材料(liào)，光(guāng)學(xué)器(qì)件等(děng)域的(dí)表麵(miàn)塗膜藝
，例(lì)如(rú)各(gè)類納(nà)米(mǐ)薄(báo)膜(mó)材料(liào)，光阻塗覆(fù)，生物(wù)能塗層的(dí)製備。
二. 產品特點
1. 機(jī)身(shēn)外(wài)殼(ké)采(cǎi)用SUS304不(bù)鏽(xiù)鋼製(zhì)作(zuò)
，防腐蝕，不生(shēng)鏽(xiù)，易(yì)清(qīng)潔(jié)。
2. 真(zhēn)空室(shì)采用316L耐(nài)腐(fǔ)蝕不鏽鋼製(zhì)作
，防止長期(qī)使用(yòng)過(guò)程中(zhōng)膠液(yè)的(dí)侵蝕。
3. 接膠(jiāo)盤為PP材(cái)料經(jīng)製作(zuò)而(ér)成(chéng)
，接儲脫離基片的膠液
，避免入(rù)設備(bèi)內(nèi)。耐腐蝕，可拆(chāi)卸(xiè)，易(yì)清洗。
4. 旋(xuán)轉台(tái)采(cǎi)用(yòng)鋁材(cái)製作(zuò)
，表(biǎo)麵(miàn)經(jīng)過硬(yìng)質氧(yǎng)化處理
，耐(nài)摩擦同時避(bì)免劃傷(shāng)基(jī)片(piàn)底(dǐ)。防(fáng)止(zhǐ)膠液的(dí)腐蝕。
5. 匀(yún)膠過程(chéng)自動分段程(chéng)序控製。整(zhěng)個匀(yún)膠過程zui多(duō)可分十段(duàn)行
，每(měi)段(duàn)的加速時(shí)間(jiān)，旋(xuán)轉速(sù)度，匀膠(jiāo)時間均(jūn)可(kě)控製，連(lián)續可(kě)調。
6. 4.3英(yīng)寸(cùn)液晶(jīng)觸(chù)摸屏(píng)使控製更方便；運(yùn)行(háng)狀(zhuàng)態(tài)及(jí)各項參數(shù)實時顯示(shì)
，更直(zhí)觀了解匀(yún)膠(jiāo)程；
7. 旋(xuán)轉(zhuǎn)前(qián)增(zēng)加預(yù)吸片(piàn)步驟
，“預吸(xī)片時間”zui多為99s
，確(què)保(bǎo)基片牢(láo)固吸(xī)附於旋轉(zhuǎn)台後(hòu)再行旋轉塗(tú)膜(mó)。匀(yún)膠成(chéng)後(hòu)增加(jiā)解(jiě)吸片(piàn)步驟
，“解(jiě)吸(xī)片時(shí)間”zui多為99s
，確(què)保(bǎo)安停(tíng)止後(hòu)再切斷真空
，釋放基片
，防止(zhǐ)塗(tú)膜(mó)後(hòu)的(dí)基片滑落
，對(duì)膜(mó)層成(chéng)損(sǔn)傷。
8. 采用(yòng)穩定的(dí)直流電(diàn)機及(jí)驅(qū)動(dòng)器(qì)
，旋(xuán)轉速度(dù)采用主動控(kòng)製(zhì)方式
，區(qū)別於(yú)老舊(jiù)的(dí)被動測速(sù)控製方式(shì)
，從而使(shǐ)旋轉速度(dù)更。
9. 標(biāo)配無(wú)油真空泵
，低噪音。大(dà)吸力將基片緊緊吸(xī)附(fù)於旋轉(zhuǎn)台(tái)
，防(fáng)止(zhǐ)飛(fēi)片(piàn)。
三. 參數
1. 旋(xuán)塗速(sù)度：400～8000 rpm
2. 轉速(sù)調節(jié)度(dù)：1rpm
3. 每段(duàn)加(jiā)速(sù)時間：1～99 s
4. 每段匀(yún)膠時(shí)間：1～99 s
5. 預吸片時間(jiān)：1～99 s
6. 解吸片時(shí)間：1～99 s
7. 鍍(dù)膜尺寸：5-100mm
8. 真空泵抽氣速(sù)率：60L/min