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DP/S48 32/HMT熱式氣體質(zhì)量流(liú)量控(kòng)製器

熱式氣(qì)體質量(liáng)流(liú)量控(kòng)製器
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熱(rè)式氣體質量(liáng)流(liú)量控製器(qì) 型(xíng)號;DP-S48 32/HMT
編(biān)號 | 項目(mù) | S48 32/HMT |
1 | 流(liú)量規格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min |
2 | 調節閥(fá)類型(xíng) | 電磁調節閥(fá) |
3 | 調(tiáo)節閥靜止狀(zhuàng)態 | 常閉(bì) |
4 | 安(ān)裝方向(xiàng) | 意(yì) |
5 | 流量控製範(fàn)圍(wéi) | 2%- |
6 | 流(liú)量(liáng)測(cè)量(liáng)範(fàn)圍 | (0-100)% |
7 | 零(líng)點溫漂(piāo) | 0.6%F.S.(15~35℃) |
8 | 響應(yīng)時(shí)間 | 2s(T98,設(shè)定(dìng)值的±2%F.S.) |
9 | 作環境(jìng)溫度(dù) | 5~50℃ |
10 | 度保證(zhèng)溫度(dù) | 15~35℃ |
11 | 度(dù) | ±1.0%F.S |
12 | 綫性(xìng) | ±0.5%F.S |
13 | 重復度 | ±0.2%F.S |
14 | 作(zuò)壓差範圍(wéi) | ~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa |
15 | 耐壓(yā) | 3MPa |
16 | 漏(lòu)率 | 1×10-8Pa.m3/s(He) |
17 | 管路(lù)接頭(tóu) | 1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm |
18 | 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V,100mA;-15V, 200mA |
19 | 設(shè)定信(xìn)號(hào) | (0-5)VDC 輸入阻抗>1MΩ |
20 | 流量輸(shū)出(chū)信號(hào) | (0-5)VDC 負(fù)載(zǎi)輸出電(diàn)流能力(lì)≤3mA |
21 | 電氣(qì)接(jiē)頭 | D-SUB15 |
22 | 尺寸 (mm) | 113(寬)×121()×32(厚(hòu)) |