四探(tàn)針(zhēn)測(cè)試(shì)儀(yí)是(shì)運(yùn)用四(sì)探針測量原(yuán)理(lǐ)的(dí)多用途綜合(hé)測量設(shè)備。該儀器(qì)按(àn)照單(dān)晶(jīng)矽物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)並(bìng)參考美(měi)A.S.T.M 標(biāo)準而(ér)的(dí)，於測試半導體材(cái)料(liào)電(diàn)阻(zǔ)率及方塊(kuài)電(diàn)阻（薄層(céng)電(diàn)阻）的(dí)儀器(qì)。該(gāi)儀器采用(yòng)了(liǎo)電子行(háng)，裝(zhuāng)配。具有(yǒu)能選(xuǎn)擇直觀，測量取(qǔ)數快，度(dù)，測(cè)量(liáng)範圍寬，穩定(dìng)性好，結(jié)構緊湊(còu)，易(yì)操作等(děng)特點(diǎn)。如有(yǒu)需要(yào)可(kě)加配(pèi)測(cè)試(shì)台(tái)使(shǐ)用(yòng)。

 

　　適用範圍：

　　1，覆(fù)蓋(gài)膜；導電(diàn)分(fēn)子(zǐ)膜(mó)，，低(dī)溫電(diàn)熱膜；隔(gé)熱(rè)，防輻射導電窗膜 導(dǎo)電(diàn)(屏蔽)布，裝飾(shì)膜，裝(zhuāng)飾紙(zhǐ)；金屬(shǔ)化標簽，合金(jīn)類箔(bó)膜；熔(róng)煉，燒結，濺射，塗覆(fù)，塗(tú)布(bù)層，電阻(zǔ)式，電容(róng)式觸(chù)屏(píng)薄膜(mó)；電塗(tú)料(liào)，其他(tā)半導(dǎo)體(tǐ)材料，薄(báo)膜(mó)材(cái)料(liào)方阻(zǔ)測(cè)試。

　　2，矽(guī)晶(jīng)塊，晶片電(diàn)阻(zǔ)率及(jí)擴(kuò)散層，外延層，ITO導(dǎo)電(diàn)箔膜(mó)，導(dǎo)電橡(xiàng)膠(jiāo)等材料(liào)方(fāng)塊電阻  半導體(tǐ)材料(liào)/晶(jīng)圓(yuán)，太陽(yáng)能(néng)電池，電(diàn)子元器件，導電薄膜（ITO導電膜玻(bō)璃(lí)等(děng)），金屬膜，導電(diàn)漆膜(mó)，蒸(zhēng)發鋁(lǚ)膜，PCB銅箔膜。

　　3，EMI塗層(céng)等物質(zhì)的薄層電阻與(yǔ)電(diàn)阻率  導電(diàn)性(xìng)油漆，導電(diàn)性(xìng)糊(hū)狀(zhuàng)物(wù)，導電性塑(sù)料(liào)，導電性(xìng)橡膠，導電(diàn)性薄膜，金(jīn)屬薄膜(mó)。

　　4，抗靜電材(cái)料， EMI 防(fáng)護(hù)材(cái)料，導電(diàn)性纖維(wéi)，導電性陶瓷(cí)等(děng)。

 

　　四探針測(cè)試(shì)儀的能描述：

　　1，四探針單電測量方(fāng)法；

　　2，液晶顯(xiǎn)示(shì)，自動測(cè)量，自(zì)動量(liáng)程，自動(dòng)係(xì)數補償(cháng)；

　　3，集成(chéng)電(diàn)路係統(tǒng)，恒流輸(shū)出；

　　4，選配(pèi)：PC軟件行(háng)數據管(guǎn)理和處(chǔ)理；

　　5，提供(gōng)中文(wén)或(huò)英文(wén)兩(liǎng)種語(yǔ)言(yán)操作(zuò)界(jiè)麵(miàn)選(xuǎn)擇(zé)。

 

　　設備(bèi)特點：

　　1，可以測量(liáng)溫，真空(kōng)，氣(qì)氛下(xià)薄膜方塊電(diàn)阻(zǔ)和薄(báo)層電阻率；

　　2，軟件，觸摸屏，溫爐(lú)等(děng)集(jí)成(chéng)於體，可以行(háng)可視化(huà)操(cāo)作；

　　3，可實現(xiàn)純(chún)淨氣(qì)氛(fēn)條(tiáo)件下(xià)的測(cè)量(liáng)；同(tóng)時保(bǎo)證(zhèng)探(tàn)針(zhēn)在溫下不氧化；

　　4，采(cǎi)用labview軟件開(kāi)發(fā)，操(cāo)控性，兼容(róng)性好(hǎo)，方便升(shēng)級(jí)；

　　5，可(kě)自(zì)動調節樣品測(cè)試電壓(yā)，探針(zhēn)和(hé)薄膜接(jiē)觸(chù)閃絡現(xiàn)象；

　　6，控溫(wēn)和(hé)測溫采(cǎi)用同個(gè)傳(chuán)感(gǎn)器，保(bǎo)證樣品每次采集(jí)的溫度都是樣(yàng)品實際溫度(dù)；

　　7，可配(pèi)套使(shǐ)用Keithley2400或(huò)2600數字(zì)多(duō)用表。