四(sì)探針電阻(zǔ)率測(cè)試(shì)儀/四(sì)探(tàn)針電(diàn)阻率儀/方(fāng)阻(zǔ)測試儀/方阻儀/四探(tàn)針(zhēn)電阻率測定(dìng)儀（自(zì)動測試台+帶軟(ruǎn)件）  型號(hào)：DP-KDY-1

四探針電阻率/方(fāng)阻測(cè)試儀(yí)（以下簡稱(chēng)電(diàn)阻率測試(shì)儀）是用來測量半導體材料（主要(yào)是矽(guī)單(dān)晶，鍺單晶，矽(guī)片(piàn)）電阻率，以(yǐ)及擴散(sàn)層(céng)，外(wài)延層，ITO導(dǎo)電(diàn)箔膜(mó)，導電橡膠方塊(kuài)電阻的(dí)測(cè)量儀器。它主(zhǔ)要(yào)由電(diàn)氣測量(liáng)份(fèn)（簡(jiǎn)稱：主機），測試(shì)架(jià)及四探(tàn)針(zhēn)頭組成(chéng)。
本儀器(qì)的特(tè)點(diǎn)是(shì)主機配(pèi)置(zhì)雙數字(zì)表，在測量電阻率(shuài)的同(tóng)時，另塊數(shù)字表(biǎo)（以分(fēn)之(zhī)幾(jī)的度）適時監測(cè)程的(dí)電(diàn)流變化，免除了(liǎo)測(cè)量(liáng)電(diàn)流/測(cè)量電阻率的轉換，更(gēng)及時掌(zhǎng)控測量(liáng)電流。主(zhǔ)機(jī)還提(tí)供度為0.05%的(dí)恒流源(yuán)，使測量電流度穩定。本(běn)機配有恒(héng)流(liú)源(yuán)開關(guān)，在(zài)測量(liáng)某(mǒu)些箔層(céng)材(cái)料時(shí)，可(kě)免除探針尖與(yǔ)被測材(cái)料之(zhī)間接(jiē)觸火花的(dí)發生，地(dì)保(bǎo)護箔(bó)膜(mó)。儀器(qì)配置(zhì)了(liǎo)本(běn)公(gōng)司(sī)的(dí)產品：“小(xiǎo)遊移(yí)四探針頭(tóu)"，探(tàn)針(zhēn)遊移率在(zài)0.1～0.2%。保證(zhèng)了(liǎo)儀(yí)器(qì)測量電阻率(shuài)的重(zhòng)復(fù)性和(hé)準確(què)度。本機如加配HQ-710E數(shù)據處(chǔ)理器(qì)，測(cè)量矽(guī)片時可自動行(háng)厚度，直(zhí)徑(jìng)，探針間距(jù)的修正，並計算，打印出矽片電(diàn)阻率(shuài)，徑(jìng)向(xiàng)電(diàn)阻率(shuài)的zui大百分變化，平(píng)均(jūn)百分變化，徑(jìng)向(xiàng)電阻率不均(jūn)習(xí)庋(guǐ)。給(gěi)測(cè)量帶來很大(dà)方(fāng)便(biàn)。
2，主機(jī)能數
（1）測量範圍：
可測(cè)電阻率(shuài)：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊電(diàn)阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流(liú)源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連(lián)續可(kě)調
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流度(dù)：各檔均低於(yú)±0.05%
（3）直流(liú)數字(zì)電壓表：
測量範圍：0～199.99mV
靈敏度(dù)：10μV
基本誤(wù)差：±（0.004%讀數+0.01%滿度）
輸出電(diàn)源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W
（5）使用環境(jìng)：
溫度：23±2℃ 相(xiāng)對(duì)濕度：≤65%
無較(jiào)強的電場(cháng)幹(gān)擾(rǎo)，無強(qiáng)光直(zhí)接(jiē)照(zhào)射(shè)
（6）重量(liáng)，體積(jī)：
主(zhǔ)機重量(liáng)：7.5kg
體積(jī)：365×380×160（單(dān)位：mm 長度×寬度(dù)×度）

備注：
等級測(cè)量時（測(cè)電(diàn)阻(zǔ)率），度(dù)<3%
電(diàn)氣(qì)測量(liáng)時（測電阻(zǔ)），度(dù)在0.3%以內(nèi)

備(bèi)注(zhù)：
儀器(qì)包括：主(zhǔ)機台；測試(shì)架（包括(kuò)台麵）個；四探(tàn)針頭1個；軟件(jiàn)