四(sì)探針電阻率測試(shì)儀(yí) 四探(tàn)針(zhēn)電阻(zǔ)率檢測儀 四探(tàn)針電(diàn)阻率(shuài)儀 型(xíng)號：DP-KDY-4

DP-KDY-4型四探(tàn)針電(diàn)阻率測試(shì)儀嚴格按照矽片(piàn)電阻率(shuài)測(cè)量(liáng)的(dí)標(biāo)準（ASTM F84）及家標(biāo)準(zhǔn)，並(bìng)針對目前常用(yòng)的四探針電(diàn)阻(zǔ)率測試儀存在的問(wèn)題(tí)加(jiā)以改。整(zhěng)套(tào)儀器有(yǒu)如下(xià)特點：
1，配有(yǒu)雙數字表：塊數(shù)字表在測(cè)量顯(xiǎn)示矽(guī)片電阻率(shuài)的同時，另(lìng)塊(kuài)數(shù)字(zì)表適時監(jiān)測(cè)過程中的(dí)電(diàn)流變化，使操作(zuò)更簡便(biàn)，測量更(gēng)確。
數(shù)字(zì)電壓表量(liáng)程(chéng)：0—199.9mV 靈敏(mǐn)度(dù)：100μV 輸入(rù)阻抗(kàng)：1000ΜΩ
基(jī)本誤差(chà)±（0.4-0.5%讀數+0.1%滿度）
2，可測(cè)電阻(zǔ)率範(fàn)圍：10—3 —1.9×103Ω·cm。
可測(cè)方(fāng)塊(kuài)電(diàn)阻範(fàn)圍：10—2 —1.9×104Ω/□。
3，設(shè)有電壓表自動復零(líng)能(néng)，當四探針(zhēn)頭1，4探(tàn)針間未有測(cè)量電(diàn)流流過時，電壓表零(líng)，隻(zhī)有1，4探針(zhēn)接觸到矽片，測量電流(liú)渡(dù)過(guò)單(dān)晶時(shí)，電壓(yā)表才(cái)示(shì)2，3探(tàn)針間(jiān)的電(diàn)壓(yā)（即(jí)電阻(zǔ)率）值(zhí)，避免(miǎn)空(kōng)間雜散(sàn)電(diàn)波對(duì)測(cè)量的(dí)幹(gān)擾(rǎo)。
4，流經矽片(piàn)的測量電(diàn)流由度(dù)穩定（分之(zhī)五(wǔ)度(dù)）的(dí)特製恒(héng)流源(yuán)提(tí)供，不(bù)受氣(qì)候條(tiáo)件的(dí)影響，整機(jī)測量度(dù)＜3%。
電(diàn)流量(liáng)程分(fēn)五檔：10μA，100μA，1mA，10mA，100mA。
5，儀器(qì)采用觸(chù)點電(diàn)阻更低(dī)（＜5mΩ），使(shǐ)用(yòng)壽命更長的(dí)轉換(huàn)開(kāi)頭(tóu)及繼電器（＞10次），在緣電阻，電(diàn)流容量(liáng)方麵留(liú)有(yǒu)更大的安(ān)係數(shù)，提了(liǎo)測試儀的可靠(kào)性和(hé)使用壽(shòu)命。
6，四探針(zhēn)頭采(cǎi)用(yòng)上(shàng)的紅寶石(shí)軸(zhóu)套(tào)導向(xiàng)結(jié)構，使探針(zhēn)的(dí)遊(yóu)移率(shuài)減小(xiǎo)，測量重復性提(tí)
 

2.